Ruthenium (Ru), jako jedna z nejslibnějších bariérových vrstev aplikovaných pro uzel 14 nm a pod technologií při výrobě integrovaných obvodů, účinky leštících proměnných na proces chemického mechanického leštění (CMP) nejsou intenzivně zkoumány. Ke komplexnímu odhalení lešticího mechanismu ovlivněného koncentrací periodátu draselného (KIO4) a hodnotami pH suspenze byly použity metody vyšetřování koroze kombinované s experimenty CMP. Výsledky jak statického, tak In-situ korozního šetření ukazují, že statická korozní rychlost Ru je nejnižší, když je suspenze slabě alkalická, ale je nejzřetelněji vylepšena procesem leštění za této podmínky. Vzhledem k rozdílné koncentraci oxidantu se koroze Ru výrazně zrychluje a při zvýšení koncentrace KIO4 se stává spíše jako proces řízený přenosem hmoty s omezenou difuzí. Protože koroze hraje významnou roli v celém procesu CMP, s úplným účtováním dalších proměnných, je výhodné provádět proces Leštění Ru za nízkého tlaku ve slabých alkalických kalech. Za těchto podmínek převládá mechanicky zesílený chemický účinek, což je užitečné pro dosažení dobré kvality povrchu a vysoké rychlosti odstraňování materiálu.
