nejrozšířenější průmyslové použití excimerových laserů KrF bylo v hluboké ultrafialové fotolitografii pro výrobu mikroelektronických zařízení (tj. polovodičových integrovaných obvodů nebo „čipů“). Od počátku šedesátých let do poloviny 80. let byly lampy Hg-Xe použity pro litografii při vlnových délkách 436, 405 a 365 nm. Nicméně, s potřebou polovodičového průmyslu pro jemnější rozlišení (pro hustší a rychlejší čipy) a vyšší výrobní propustnost (pro nižší náklady), litografické nástroje založené na lampách již nebyly schopny splnit požadavky tohoto odvětví. Tato výzva byla překonána, když v průkopnickém vývoji v roce 1982 byla v IBM prokázána hluboká UV excimerová laserová litografie k. Jainem. S fenomenálním pokrokem ve vybavení a technologii v posledních dvou desetiletích moderní polovodičová elektronická zařízení vyrobená pomocí excimerové laserové litografie nyní dosahují roční produkce více než 400 miliard dolarů. Výsledkem je, že pohled na polovodičový průmysl je, že excimerová laserová litografie (s lasery KrF i ArF) byla rozhodujícím faktorem v prediktivní síle Moorova zákona. Z ještě širšího vědeckotechnického hlediska: od vynálezu laseru v roce 1960 byl vývoj excimerové laserové litografie zdůrazněn jako jeden z hlavních milníků v 50leté historii laseru.
laser KrF byl užitečný ve výzkumné komunitě jaderné fúze v experimentech s inerciálním omezením. Tento laser má rovnoměrnost dálkových paprsků, krátkou vlnovou délku a funkci nastavitelné velikosti místa.
v roce 1985 dokončila Národní laboratoř Los Alamos zkušební odpálení experimentálního laseru KrF s energetickou hladinou 1,0 × 104 joulů. Laserová plazmová větev Námořní výzkumné laboratoře dokončila KrF laser nazvaný Nike laser, který může produkovat asi 4,5 × 103 joulů výkonu UV energie v 4 nanosekundovém pulsu. Kent a. Gerber byl hnací silou tohoto projektu. Druhý laser se používá v experimentech s laserovým omezením.
tento laser byl také použit k výrobě měkké rentgenové emise z plazmy, ozářením krátkými pulzy tohoto laserového světla. Mezi další důležité aplikace patří manipulace s různými materiály, jako jsou plasty, sklo, křišťál, kompozitní materiály a živá tkáň. Světlo z tohoto UV laseru je silně absorbováno lipidy, nukleovými kyselinami a proteiny, což je užitečné pro aplikace v lékařské terapii a chirurgii.
