Ruthenium (Ru), som et af de mest lovende barrierelag, der anvendes til 14 nm-noden og under teknologien i de integrerede kredsløbsfremstilling, undersøges poleringsvariablernes virkninger på den kemiske mekaniske poleringsproces (CMP) ikke intensivt. Korrosionsundersøgelsesmetoder kombineret med CMP-eksperimenter blev anvendt til omfattende at afsløre poleringsmekanismen påvirket af kaliumperiodat (KIO4) koncentration og opslæmningens pH-værdier. Resultaterne af både den statiske og In-situ korrosionsundersøgelse viser, at den statiske korrosionshastighed for Ru er den laveste, når opslæmningen er svag alkalisk, men den er den mest åbenlyse forbedret ved poleringsprocessen under denne betingelse. I betragtning af den forskellige iltningskoncentration accelererer korrosionen af Ru markant og bliver mere som en diffusionsbegrænset masseoverførselsstyret proces, når KIO4-koncentrationen stiger. Fordi korrosion spiller en væsentlig rolle i hele CMP-processen, med en fuld bogføring af andre variabler, foretrækkes poleringsprocessen for Ru at blive udført under lavt nedtryk i svage alkaliske opslæmninger. Under denne betingelse dominerer den mekanisk forbedrede kemiske virkning, hvilket er nyttigt for at opnå en god overfladekvalitet og en høj materialefjernelseshastighed.
