Ruthenium (Ru), als een van de meest veelbelovende barrière laag toegepast voor de 14 nm knooppunt en hieronder technologie in de geïntegreerde schakelingen productie, de effecten van het polijsten variabelen op de chemische mechanisch polijsten (CMP) proces zijn niet intensief onderzocht. Corrosieonderzoeksmethoden in combinatie met CMP-experimenten werden gebruikt om het polijstmechanisme dat wordt beïnvloed door de kaliumperdaatconcentratie (KIO4) en de pH-waarden van de mengmest volledig te onthullen. De resultaten van zowel het statische als in-situ corrosieonderzoek tonen aan dat de statische corrosiesnelheid van Ru het laagst is wanneer de slurry zwak alkalisch is, maar dat deze het duidelijkst wordt versterkt door het polijstproces onder deze voorwaarde. Rekening houdend met de verschillende oxidantconcentratie, versnelt de corrosie van Ru duidelijk en lijkt het meer op een diffusiebeperkt massatransportgecontroleerd proces wanneer de kio4-concentratie toeneemt. Omdat de corrosie een belangrijke rol speelt in het hele CMP-proces, met een volledige boekhouding van andere variabelen, wordt het polijstproces van Ru bij voorkeur uitgevoerd onder lage druk in zwakke alkalische slurries. Onder deze voorwaarde overheerst het mechanisch verbeterde chemische effect, wat nuttig is om een goede oppervlaktekwaliteit en een hoge materiaalverwijderingssnelheid te verkrijgen.
