Rutênio (Ru), como um dos mais promissores camada de barreira aplicada para os 14 nm de nós e abaixo da tecnologia de circuitos integrados de manufatura, os efeitos do polimento variáveis em química, mecânica, polimento (CMP) do processo não são intensivamente investigados. Métodos de investigação de corrosão combinados com experimentos CMP foram utilizados para revelar de forma abrangente o mecanismo de polimento afetado pela concentração de periodato de potássio (KIO4) e os valores de pH da pasta. Os resultados da investigação de corrosão estática e in situ mostram que a taxa de corrosão estática de Ru é a mais baixa quando a pasta é alcalina fraca, mas é a mais obviamente aprimorada pelo processo de polimento sob essa condição. Considerando a concentração diferente do oxidante, a corrosão de Ru acelera distintamente, e transforma-se ser mais como um processo controlado difusão-limitado da transferência maciça quando a concentração KIO4 aumenta. Como a corrosão desempenha um papel significativo em todo o processo CMP, com uma contabilidade completa de outras variáveis, o processo de polimento da Ru é preferido para ser realizado sob baixa pressão em pastas alcalinas fracas. Sob esta condição, o efeito químico mecânico-aumentado está predominando, que é útil obter uma boa qualidade de superfície, e uma taxa material alta da remoção.
