Ruten (RU), jako jedna z najbardziej obiecujących warstw barierowych zastosowana w technologii węzła 14 nm i poniżej w produkcji układów scalonych, wpływ zmiennych polerowania na proces chemicznego mechanicznego polerowania (CMP) nie jest intensywnie badany. Metody badania korozji w połączeniu z eksperymentami CMP zostały wykorzystane do kompleksowego ujawnienia mechanizmu polerowania wpływającego na stężenie periodanu potasu (KIO4) i wartości pH zawiesiny. Wyniki badań korozji statycznej i in-situ pokazują, że szybkość korozji statycznej Ru jest najniższa, gdy zawiesina jest słabo zasadowa, ale jest najbardziej wyraźnie wzmocniona przez proces polerowania w tych warunkach. Biorąc pod uwagę różne stężenie utleniacza, korozja Ru wyraźnie przyspiesza i okazuje się być bardziej jak kontrolowany proces transferu masy Ograniczony dyfuzją, gdy stężenie KIO4 wzrasta. Ponieważ korozja odgrywa znaczącą rolę w całym procesie CMP, przy pełnym uwzględnieniu innych zmiennych, preferowany jest proces polerowania Ru pod niskim ciśnieniem w słabo alkalicznych zawiesinach. W tym stanie przeważa mechanicznie wzmocniony efekt chemiczny, co jest pomocne w uzyskaniu dobrej jakości powierzchni i wysokiej szybkości usuwania materiału.
