rutenium (Ru), som ett av de mest lovande barriärskikt som tillämpas för 14 nm-noden och under tekniken vid tillverkning av integrerade kretsar undersöks inte effekterna av poleringsvariablerna på den kemiska mekaniska poleringsprocessen (CMP). Korrosionsundersökningsmetoder i kombination med CMP-experiment användes för att fullständigt avslöja poleringsmekanismen som påverkades av kaliumperiodat (KIO4) – koncentrationen och uppslamningens pH-värden. Resultaten av både statisk och in situ korrosion undersökning visar att den statiska korrosionshastigheten för Ru är den lägsta när uppslamningen är svag alkalisk, men det är den mest uppenbart förbättras genom poleringsprocessen under detta tillstånd. Med tanke på de olika oxidantkoncentrationen accelererar korrosionen av Ru tydligt och blir mer som en diffusionsbegränsad massöverföringsstyrd process när kio4-koncentrationen ökar. Eftersom korrosionen spelar en viktig roll i hela CMP-processen, med en fullständig redovisning av andra variabler, föredras poleringsprocessen för Ru att utföras under lågt nedtryck i svaga alkaliska uppslamningar. Under detta tillstånd dominerar den mekaniska förbättrade kemiska effekten, vilket är till hjälp för att få en bra ytkvalitet och en hög materialavlägsningshastighet.
