Ruthenium (Ru), som et av de mest lovende barrierelaget som brukes for 14 nm-noden og under teknologien i den integrerte kretsproduksjonen, undersøkes ikke effektene av poleringsvariablene på kjemisk mekanisk polering (CMP) – prosessen intensivt. Korrosjonsundersøkelsesmetoder kombinert MED CMP-eksperimenter ble benyttet for å avdekke poleringsmekanismen som påvirkes av kaliumperiodekonsentrasjonen (KIO4) og slurry pH-verdiene. Resultatene av både statisk og in-situ korrosjonsundersøkelse viser at den statiske korrosjonshastigheten Til Ru er den laveste når slammet er svakt alkalisk, men det er mest åpenbart forbedret av poleringsprosessen under denne tilstanden. Med tanke på den forskjellige oksidantkonsentrasjonen, akselererer korrosjonen Av Ru tydelig, og blir mer som en diffusjonsbegrenset masseoverføringskontrollert prosess når KIO4-konsentrasjonen øker. Fordi korrosjon spiller en betydelig rolle i HELE cmp-prosessen, med en full regnskapsføring av andre variabler, er poleringsprosessen Av Ru foretrukket å bli utført under lavt nedtrykk i svake alkaliske oppslemminger. Under denne tilstanden dominerer den mekanisk forbedrede kjemiske effekten, noe som er nyttig for å oppnå god overflatekvalitet og høy materialfjerningshastighet.
